Paramount 3156330-116射频发生器

Paramount 3156330-116是Advanced Energy旗下Paramount 3013系列的一款射频发生器输出功率3000W频率13.56MHz配套AMAT应用材料设备使用。5条产品特点属于Paramount 3013系列全数字控制架构响应速度快输出功率3000W频率13.56MHz适合等离子体工艺需求支持脉冲射频功能可实现精确的脉冲功率控制具备实时功率和阻抗测量能力能动态响应等离子体变化配套AMAT应用材料设备使用客户件号0190-44074-0025条产品参数型号3156330-116产品系列Paramount 3013输出功率3000W输出频率13.56MHz客户件号0190-44074-0025个应用领域半导体等离子体蚀刻设备等离子体增强化学气相沉积高密度等离子体CVD设备半导体设备维修与翻新真空镀膜与薄膜沉积设备总的来说Paramount 3156330-116是Advanced Energy Paramount 3013系列的一款3000W、13.56MHz射频发生器配套AMAT应用材料设备使用在半导体等离子体工艺中承担射频功率输出任务。